The Elasticity Measurements of Aluminium nm‐Films
The Elasticity Measurements of Aluminium nm‐Films
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铝纳米薄膜的弹性测量
DOI：
10.1002/pssa.2211290217
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发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Okuda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Mizubayashi;Y. Yoshihara;S. Okuda
本文报道了用振簧技术测量在簧片衬底上沉积的纳米金属薄膜的弹性模量，并将其应用于真空沉积的铝薄膜的弹性模量测量。当薄膜厚度d > 100 nm时，铝薄膜EA 1，f的弹性模量与体铝EA 1，B的弹性模量符合得很好。对于较小的d，FA 1，f随着d的减小而从EA 1，B减小，特别是对于d < 10 nm。EA 1，f的降低初步归因于薄膜中微晶之间的界面效应的增加。对厚度约为50 nm的薄膜所观察到的内摩擦结果与Berry报道的100 nm薄膜的内摩擦结果非常相似，即观察到所谓晶界弛豫的峰值温度的强烈降低。
在Dickenbereich nm金属薄板弹性测量中的“振簧”技术，即在薄金属基板上形成的振簧，可以用来测量薄金属薄板韦尔登：薄金属薄板EA 1，f的年轻模块，其厚度d > 100 nm。对于EA 1的小直径，如果含有abnehmendem d，则插入d < 10 nm，获得EA 1，B ab。Abnahme将在Schichten zugeschrieben中对Grenzflachen zwischen Kristalliten产生影响。50 nm迪凯的内部结构可以由100 nm迪凯的浆果形成。H.这将是一个明显的Abnahme的温度sogenannten Kornzenrelaxations-maximums beobachtet。
The vibrating reed technique applicable to the elasticity measurements for the metallic films of nm thickness deposited onto reed substrates and its application to vacuum-deposited aluminium films are reported: Young's modulus of the aluminium films EA1,f shows a good agreement with that of bulk aluminium EA1,b for films of thickness d > 100 nm. For smaller d, FA1,f decreases from EA1,b with decreasing d, especially for d < 10 nm. The decrease in EA1,f is tentatively attributed to the increasing, effects of interfaces between crystallites in the films. The results of internal fricition observed for films of about 50 nm thickness are very similar to those for the films of 100 nm reported by Berry, i.e. the strong decrease in the peak temperatures of the so-called grain-boundary relaxations is observed.
Die „vibrating-reed” Technik in Anwendung auf elastische Messungen an Metallschichten im Dickenbereich von nm, die auf zungenformige Substrate aufgebracht wurden, sowie ihre Anwendung auf vakuumaufgedampfte Aluminiumschichten werden mitgeteilt: der Young-Modul der Aluminium-schichten EA1,f, ist fur Schichten mit d > 100 nm in guter Ubereinstimmung mit dem fur massives Aluminium EA1,b. Fur kleinere d-Werte nimmt EA1,f mit abnehmendem d, insbesondere fur d < 10 nm, gegenuber EA1,b ab. Die Abnahme wird versuchsweise dem zunehmenden Effekt der Grenzflachen zwischen den Kristalliten in den Schichten zugeschrieben. Die Ergebnisse fur die innere Reibung fur etwa 50 nm dicke Schichten sind den von Berry fur 100 nm dicke Schichten beschriebenen sehr ahnlich, d. h. es wird eine starke Abnahme der Temperaturen des sogenannten Korngrenzenrelaxations-maximums beobachtet.