A simple, space constrained NIRIM type reactor for chemical vapour deposition of diamond
A simple, space constrained NIRIM type reactor for chemical vapour deposition of diamond
复制标题
用于金刚石化学气相沉积的简单、空间受限的 NIRIM 型反应器
DOI:
10.1063/1.5009182
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
1.6
通讯作者:
Thomas E
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Thomas E
DOI:
--
发表时间:
1978
期刊:
影响因子:
--
作者:
D. Fedoseev;K. Uspenskaya;V. P. Varnin;S. P. Vnukov
通讯作者:
S. P. Vnukov