Investigation on Crack suppression by Thermal-Plasma-Jet Crystallization of Amorphous Silicon Films on Flexible Glass Substrate
Investigation on Crack suppression by Thermal-Plasma-Jet Crystallization of Amorphous Silicon Films on Flexible Glass Substrate
复制标题
柔性玻璃基板上非晶硅薄膜热等离子体喷射结晶抑制裂纹的研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Higashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hieda;H. Hanafusa;S. Higashi
