Y.YOSHIMURA: "Piezo-driven One-piece XYZ Table with Low Mutnal Interfevences" MIPE The Imternational Caforence on Micro-mechatronics for Intormation and Precision Equipment. 予稿集. (1997)
Y.YOSHIMURA: "Piezo-driven One-piece XYZ Table with Low Mutnal Interfevences" MIPE The Imternational Caforence on Micro-mechatronics for Intormation and Precision Equipment. 予稿集. (1997)
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Y.YOSHIMURA:“具有低相互干扰的压电驱动一体式 XYZ 工作台”MIPE 国际微机电一体化信息和精密设备会议录(1997 年)。
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