Atom Probe Tomographyによる不純物ドープシリコンナノ結晶の構造評価
Atom Probe Tomographyによる不純物ドープシリコンナノ結晶の構造評価
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利用原子探针断层扫描技术评估掺杂硅纳米晶的结构
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤井 稔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杉本 泰;野元 恵太;Simon P. Ringer;Gavin Conibeer;藤井 稔
