Electromigration in 0.25 μm wide Cu line on W

Electromigration in 0.25 μm wide Cu line on W
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W 上 0.25 μm 宽 Cu 线的电迁移

DOI:
10.1016/s0040-6090(97)00487-2
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发表时间:
1997
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
R. Carruthers
R. Carruthers
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
C. Hu;K. Y. Lee;L. Gignac;R. Carruthers

文献摘要

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