N2O5選択供給プラズマ源の開発とその応用展望
N2O5選択供給プラズマ源の開発とその応用展望
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N2O5选供等离子体源的研制及其应用前景
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐々木 渉太，高島 圭介，高橋 英樹，金子 俊郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Shiratani;P.Attri;T. Okumura;K. Koga;佐々木 渉太，高島 圭介，高橋 英樹，金子 俊郎
