Effective Routing Pattern Generation for Self-Aligned Quadruple Patterning
Effective Routing Pattern Generation for Self-Aligned Quadruple Patterning
复制标题
用于自对准四重图案化的有效布线图案生成
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Chikaaki Kodama
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takeshi Ihara;Atsushi Takahashi;Chikaaki Kodama
