Novel Metal Deposition and Patterning Methods with Beam Techniques Using Ionic Liquids
Novel Metal Deposition and Patterning Methods with Beam Techniques Using Ionic Liquids
复制标题
使用离子液体的束技术的新型金属沉积和图案化方法
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Susumu Kuwabata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kosuke Inoue;Tetsuya Tsuda;Shu Seki;Akihito Imanishi;Tsukasa Torimoto;Susumu Kuwabata
