一森照光,斉藤慎二: "マイクロスパッタリングによるSi薄膜の形成" 東京理科大学工学部第2部電気工学科卒論要旨集. 171-175 (1998)
一森照光,斉藤慎二: "マイクロスパッタリングによるSi薄膜の形成" 東京理科大学工学部第2部電気工学科卒論要旨集. 171-175 (1998)
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Terumitsu Kazumori、Shinji Saito：“通过微溅射形成 Si 薄膜”毕业论文摘要，东京理科大学工学院电气工程系 171-175 (1998)。
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