H.Kotera: "Dynamic Simulation Method of MEMS Coupling Electrostatic Field,Fluid Dynamics and Membrane Deflection" Microsystem Technologies 98. 491-496 (1998)
H.Kotera: "Dynamic Simulation Method of MEMS Coupling Electrostatic Field,Fluid Dynamics and Membrane Deflection" Microsystem Technologies 98. 491-496 (1998)
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H.Kotera：“MEMS耦合静电场、流体动力学和膜偏转的动态模拟方法” Microsystem Technologies 98. 491-496 (1998)
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