Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thickness in Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer
Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thickness in Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer
复制标题
硅基导波光学加速度计中波导位置和膜片厚度的灵敏度依赖性
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T. Sato
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Ohkawa H. Endo;T. Oshima;Y. Miura;T. Sato
