Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies: Techniques, Fundamentals, and Devices
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DOI：
10.1007/978-94-011-1727-2
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发表时间：
1993-03
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
O. Auciello
中科院分区：
文献类型：
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作者：
O. Auciello
