RFマグネトロンスパッタリング法による{110}高配向Ba(Ce,Y)O3ペロブスカイト薄膜の作製

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射频磁控溅射法制备{110}高取向Ba(Ce,Y)O3钙钛矿薄膜

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
佐藤 智也  一ノ瀬 大地  舟窪 浩 内山 潔
佐藤 智也  一ノ瀬 大地  舟窪 浩 内山 潔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T Kariya;K Uchiyama;H Tanaka;T Hirono;T Kuse; K Yanagimoto;M Henmi;M Hirose;I Kimura;K Suu and H Funakubo;内山 潔  大島 直也  江原 祥隆  及川 貴弘  田中 宏樹  佐藤 智也  内田 寛  山田 智明  舟窪 浩;佐藤 智也  一ノ瀬 大地  舟窪 浩  内山 潔;佐藤 智也  一ノ瀬 大地  舟窪 浩  内山 潔;佐藤 智也  一ノ瀬 大地  舟窪 浩 内山 潔

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