低ダメージスパッタカソードの開発と評価
低ダメージスパッタカソードの開発と評価
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低损伤溅射阴极的研制与评价
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩田寛，岡田圭佑，石井裕樹，加藤大輝，関谷隆夫，田中正俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古澤将司;石井裕樹;加藤大輝;岩田 寛;関谷隆夫;田中正俊;岩田寛，岡田圭佑，石井裕樹，加藤大輝，関谷隆夫，田中正俊
