マイクロ回折法によるMOCVD-Ge1－xSnx/Ge細線構造内部の局所歪量評価
マイクロ回折法によるMOCVD-Ge1－xSnx/Ge細線構造内部の局所歪量評価
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使用微衍射法评估 MOCVD-Ge1-xSnx/Ge 细线结构内部的局部应变
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
財満鎭明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
犬塚雄貴;池進一;鷲津智也;竹内和歌奈;志村洋介;今井康彦;中塚理;木村滋;財満鎭明
