フェムト秒レーザによる膜付き絶縁体に対する光励起加工に関する研究
フェムト秒レーザによる膜付き絶縁体に対する光励起加工に関する研究
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飞秒激光光激发覆膜绝缘子加工研究
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣津佑紀，林照剛，黒河周平，水町遼祐，松川洋二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Iwao Matsuya;Yudai Honma;and Ikuo Ihara;廣津 佑紀，林 照剛，黒河 周平，水町 遼祐;松永啓伍，林照剛，黒河周平，廣津佑紀，松川洋二，長谷川登，錦野将元;廣津佑紀，林照剛，黒河周平，水町遼祐，松川洋二
