FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発
FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発
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开发利用FOW（光纤窗口）投影面测量大口径反射镜绝对形状的光纤型PS-PDI（移相点衍射干涉仪）装置
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中野元博
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡垣覚;中村崇亮;松浦敏晋;片岡俊彦;押鐘寧;井上晴行;中野元博
