古川勇二,諸貫信行,内山賢治,高山明典: "レーザ・異方性エッチング複合加工によるシリコンの微細規則形状加工"精密工学会秋季大会. (2001)

Yuji Furukawa、Nobuyuki Moronuki、Kenji Uchiyama、Akinori Takayama：“通过组合激光和各向异性蚀刻加工对硅进行精细规则形状加工”日本精密工程学会秋季会议（2001 年）。