マイクロセンサ搭載工具によるナノ加工
マイクロセンサ搭載工具によるナノ加工
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使用配备微传感器的工具进行纳米处理
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新野秀憲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松下幸生;吉岡勇人;橋詰等;新野秀憲
