遊星式スピンコーターによる革新的製膜技術
遊星式スピンコーターによる革新的製膜技術
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使用行星旋涂机的创新成膜技术
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
德丸和樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
戸部友輔;本間順;関根秀一;坂口勝久;岩﨑清隆;清水達也;德丸和樹
