Chemical Sputtering of GaN Crystal with a Chlorine-Adsorbed Layer
Chemical Sputtering of GaN Crystal with a Chlorine-Adsorbed Layer
复制标题
具有氯吸附层的 GaN 晶体的化学溅射
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
影响因子：
1.5
通讯作者：
K. Harafuji and K. Kawamura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Mark;K.Reagan;小原泰彦;Robert J.Stern;石塚治;宮東照;高嶋礼詩・上栗伸一・西弘嗣;K. Harafuji and K. Kawamura
