液相成長法によるリサイクルSiOF薄膜の電気特性(2)
液相成長法によるリサイクルSiOF薄膜の電気特性(2)
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液相生长回收 SiOF 薄膜的电性能 (2)
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本間哲哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西村優;佐々木秀光;山口大輔;藍原克巳;本間哲哉
