Effect of CW Laser Annealing on Silioon Surface for Application of Power Device
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复制标题
硅表面连续激光退火对功率器件应用的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子智(第一著者)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoru Kaneko;Kensuke Akiyama;Takeshi Ito;Manabu Yasui;Yu Motoizumi;Satomi Tanaka;Chihiro Kato;Yasuo Hirabayashi;Takeshi Ozawa;Akira Matsuno;Takashi Nire and Mamoru Yoshimoto;金子智(第一著者);金子智(第一著者)
