低加速透過電子顕微鏡を用いたSOIピクセルディテクタの性能評価
低加速透過電子顕微鏡を用いたSOIピクセルディテクタの性能評価
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使用低加速度透射电子显微镜评估SOI像素探测器的性能
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
齋藤晃
中科院分区:
文献类型:
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作者:
石田高史;篠﨑暉;桑原真人;三好敏喜;新井康夫;齋藤晃