化学気相析出法によるハフニア厚膜の高速合成
化学気相析出法によるハフニア厚膜の高速合成
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化学气相沉积法快速合成氧化铪厚膜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤暁彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松本昭源;伊藤暁彦
