Mechanical fatigue damage accumulation in silicon visualized by electronic defect analysis technique
Mechanical fatigue damage accumulation in silicon visualized by electronic defect analysis technique
复制标题
通过电子缺陷分析技术可视化硅中的机械疲劳损伤累积
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shoji Kamiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Arasu Udhayakumar;Hayato Izumi;Kozo Koiwa;Shoji Kamiya;喜多俊文，泉隼人，神谷庄司，Vu Le Huy;Shoji Kamiya
