ホールアレイ型金属回折格子付SOIフォトダイオードの斜入射光に対する分光感度特性
ホールアレイ型金属回折格子付SOIフォトダイオードの斜入射光に対する分光感度特性
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孔阵列型金属衍射光栅SOI光电二极管斜入射光光谱灵敏度特性
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
猪川洋
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐藤弘明;岩田将平;小野篤史;猪川洋