H.Sunami: "A Three-Dimensional MOS Transistor Formation Technique with Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etchant"SENSORS and ACTUATORS A : PHYSICAL. (in press). (2004)
H.Sunami: "A Three-Dimensional MOS Transistor Formation Technique with Crystallographic Orientation-Dependent TMAH Etchant"SENSORS and ACTUATORS A : PHYSICAL. (in press). (2004)
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H.Sunami：“采用晶体取向相关的 TMAH 蚀刻剂的三维 MOS 晶体管形成技术”传感器和执行器 A：物理。
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