T. Inushima et al.,: "Comparison of AlN thin films grown on Sapphire and cubic SiC substrates by LP-MOCVD"J. Crystal Growth. 209. 410-414 (2000)

T. Inushima et al.,: "Comparison of AlN thin films grown on Sapphire and cubic SiC substrates by LP-MOCVD"J. Crystal Growth. 209. 410-414 (2000)
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T. Inushima 等人,“通过 LP-MOCVD 在蓝宝石和立方 SiC 衬底上生长的 AlN 薄膜的比较”J。

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DOI: 10.1016/s0030-3992(02)00010-5
发表时间: 2002
期刊:
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作者:
R. Wood
通讯作者: R. Wood