ICP援用ナノパルスプラズマCVD法によるBN系薄膜の合成
ICP援用ナノパルスプラズマCVD法によるBN系薄膜の合成
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ICP辅助纳脉冲等离子体CVD法合成BN基薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斉藤 雅典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori Saito;Takao Saito;Hiroya Murakami;Naoto Ohtake;斉藤 雅典
