Methodology for Multiphysics Flow Simulation in GaN MOVPE Using Thermodynamic Analysis and First Principles Calculations for GaN Deposition
Methodology for Multiphysics Flow Simulation in GaN MOVPE Using Thermodynamic Analysis and First Principles Calculations for GaN Deposition
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使用热力学分析和 GaN 沉积第一原理计算进行 GaN MOVPE 多物理场流动仿真的方法
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Shiraishi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Kawakami;S. Komura;Y. Yamamoto;A. Kusaba;K. Yoshimatsu;N. Okamoto;Y. Kangawa;K. Kakimoto;K. Shiraishi
