Efficient etching of diamond by oxygen annealing toward high-Q factor diamond MEMS resonators.
Efficient etching of diamond by oxygen annealing toward high-Q factor diamond MEMS resonators.
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通过氧气退火对高 Q 因子金刚石 MEMS 谐振器进行高效金刚石蚀刻。
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Meiyong.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
CHEN;Yingling;サン フアンイン;SANG;Liwen;KOIZUMI;Satoshi;KOIDE;Yasuo;Xiaoxi Liu;LIAO;Meiyong.
