RFマグネトロンスパッタリングによるMnドープITOの作製
RFマグネトロンスパッタリングによるMnドープITOの作製
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射频磁控溅射法制备锰掺杂ITO
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
橘邦英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田邊浩平;中村敏浩;橘邦英
