スピンコータ内の回転円板上を流下する液体の飛散特性に及ぼす濡れ性の影響
スピンコータ内の回転円板上を流下する液体の飛散特性に及ぼす濡れ性の影響
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润湿性对旋涂机旋转盘上流下液体散射特性的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
栗島 啓聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高木 悠;石澤 紳太郎;宗像 瑞恵;吉川 浩行;栗島 啓聡
