Low-TemperatureProcessing of Sol-Gel Derived Metal OxideThin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid
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使用超临界二氧化碳流体低温加工溶胶-凝胶衍生的金属氧化物薄膜
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kaori FUJIOKA andSeiichiro KODA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroshi UCHIDA;Kaori FUJIOKA andSeiichiro KODA
