高分子電解質を用いたワイドギャップ半導体の高能率電解複合研磨
高分子電解質を用いたワイドギャップ半導体の高能率電解複合研磨
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利用聚合物电解质对宽禁带半导体进行高效电解复合抛光
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
巴山顕真，チェノル シャヒラ ビンティ チェ ズルキフリ，村田順二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zulkifle Che Nor Syahirah Binti Che;Hayama Kenshin;Murata Junji;巴山顕真，チェノル シャヒラ ビンティ チェ ズルキフリ，村田順二
