単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化加工法に関する基礎的研究
単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化加工法に関する基礎的研究
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单晶金刚石基体超平坦化加工方法基础研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保田章亀,一森佑也,峠 睦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;峠 睦;久保田章亀,一森佑也,峠 睦
