RF マグネトロンスパッタリング法を用いたAl-doped ZnO / ZnO 多層膜の電気特性
RF マグネトロンスパッタリング法を用いたAl-doped ZnO / ZnO 多層膜の電気特性
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射频磁控溅射法制备Al掺杂ZnO/ZnO多层薄膜的电学性能
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
郭 其新
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長岡 孝;長野 信也;有田 誠;郭 其新
