シリコンナノエレクトロ・メカニカルデバイスのマルチスケールシミュレーション技術
シリコンナノエレクトロ・メカニカルデバイスのマルチスケールシミュレーション技術
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硅纳米机电器件多尺度仿真技术
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小田俊理
中科院分区：
文献类型：
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作者：
水田博;永見佑;澤井俊一郎;B.Pruvost;東島賢;岡本政邦;小田俊理
