K.Koga,Y.Matsuoka,M.Shiratani and Y.Watanabe: "In situ observation of nucleation and subsequent growth of clusters in silane rf discharges"Appl.Phys.Lett.. 7・2. 196-198 (2000)
K.Koga,Y.Matsuoka,M.Shiratani and Y.Watanabe: "In situ observation of nucleation and subsequent growth of clusters in silane rf discharges"Appl.Phys.Lett.. 7・2. 196-198 (2000)
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K.Koga、Y.Matsuoka、M.Shiratani 和 Y.Watanabe：“硅烷射频放电中成核和随后簇生长的原位观察”Appl.Phys.Lett.. 7・2 (2000)。
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