ヘキサンとN2の混合気体マイクロ波放電を用いて作製した高窒素含有a-CNx:H膜の結合状態解析
ヘキサンとN2の混合気体マイクロ波放電を用いて作製した高窒素含有a-CNx:H膜の結合状態解析
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己烷和N2混合气体微波放电制备的高氮含量a-CNx:H薄膜的键合状态分析
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斉藤秀俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤治彦;平松拳也;董福;斉藤秀俊
