M.Ito et.al.: "The roles of plasma species on polycrystalline silicon film formation by ECR SiH_4/H_2 plasma" Bulletin of the American Physical Society(Proc.of 49th GEC). 41(6). 1309 (1996)
M.Ito et.al.: "The roles of plasma species on polycrystalline silicon film formation by ECR SiH_4/H_2 plasma" Bulletin of the American Physical Society(Proc.of 49th GEC). 41(6). 1309 (1996)
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M.Ito 等人：“等离子体物质对 ECR SiH_4/H_2 等离子体形成多晶硅薄膜的作用”美国物理学会通报（Proc.of 49th GEC）。
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