スパッタリング時の圧力によるAlScN膜への影響
スパッタリング時の圧力によるAlScN膜への影響
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溅射过程中压力对 AlScN 薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
角嶋邦之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
時田幸村;Tsai Sung-Lin;星井拓也;若林整;筒井一生;角嶋邦之
