光酸発生剤を用いたシリカ膜の製膜と透過特性
光酸発生剤を用いたシリカ膜の製膜と透過特性
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利用光产酸剂研究二氧化硅薄膜的成膜及传输特性
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
西林舞,長澤寛規,金指正言,吉岡朋久,都留稔了
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Mai Nishibayashi;Hiroyuki Yoshida;Masamoto Uenishi;Masakoto Kanezashi;Hiroki Nagasawa;Tomohisa Yoshioka and Toshinori Tsuru;西林舞,長澤寛規,金指正言,吉岡朋久,都留稔了;西林舞,長澤寛規,金指正言,吉岡朋久,都留稔了;西林舞,長澤寛規,金指正言,吉岡朋久,都留稔了