共晶系Si-Alろう材のAl蒸発による等温凝固を用いたSiCの低温接合
共晶系Si-Alろう材のAl蒸発による等温凝固を用いたSiCの低温接合
复制标题
通过共晶 Si-Al 填充金属的 Al 蒸发等温凝固进行 SiC 低温键合
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
坂元理絵
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小濱和之;寺田俊一;伊藤和博;山本啓;篠原貴彦;坂元理絵
