Twin-Probe Vibroscanning Method for Dimensional Measurement of Microholes
Twin-Probe Vibroscanning Method for Dimensional Measurement of Microholes
复制标题
用于微孔尺寸测量的双探头振动扫描方法
DOI：
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Fujino
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Masuzawa;Beomjoon Kim;C. Bergaud;M. Fujino
