レーザプロセスによるワイドギャップβ-Ga2O3薄膜の低温エピタキシー

レーザプロセスによるワイドギャップβ-Ga2O3薄膜の低温エピタキシー
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激光低温外延宽禁带β-Ga2O3薄膜

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉本護
吉本護
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松田晃史;塩尻大士;福田大二;内田啓貴;土嶺信男;金子智;吉本護

文献摘要

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