T.Sakuta, N.Sakashita, T.Yoshida T.Takashima and M.Miyamoto: "Generation of 50-kHz Large Area Induction Thermal Plasma for High Rate,Uniform Processes" IEEE Transactions on Plasma Science. Vol.25 No.5. 1029-1033 (1997)
T.Sakuta, N.Sakashita, T.Yoshida T.Takashima and M.Miyamoto: "Generation of 50-kHz Large Area Induction Thermal Plasma for High Rate,Uniform Processes" IEEE Transactions on Plasma Science. Vol.25 No.5. 1029-1033 (1997)
复制标题
T.Sakuta、N.Sakashita、T.Yoshida T.Takashima 和 M.Miyamoto：“用于高速率、均匀过程的 50kHz 大面积感应热等离子体的生成”IEEE 等离子体科学汇刊。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
