スピンドルの静電容量変化を利用した軸方向変位計測
スピンドルの静電容量変化を利用した軸方向変位計測
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利用主轴电容变化测量轴向位移
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
下河辺明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
黒木次郎;進士忠彦;下河辺明
